盛普電源為您提供真空鍍膜行業(yè)全系列電源解決方案
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盛普系列高頻開關(guān)電源模塊技術(shù)優(yōu)勢
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智能高頻開關(guān)電源,開關(guān)頻率高達(dá)40KHZ。
2 體積小,重量輕。
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3 電子高速滅弧。
4 脈寬調(diào)制技術(shù),高效、高可靠性。
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5 模塊化設(shè)計(jì),N+1備份。
6 有外部控制接口,可由微機(jī)或PLC控制。
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中頻磁控濺射電源
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1克服靶中毒、抑制靶面打火。
2可濺射金屬、半導(dǎo)體膜層。
3電子電抗,自動(dòng)匹配負(fù)載。
4恒流輸出,不隨氣壓變化。
5工藝重復(fù)性好,提高成膜速度。 |
直流磁控濺射電源 |
1恒流輸出,不隨氣壓變化。
2抑制靶材弧光放電及抗短路功能。
具有極佳的負(fù)載匹配能力
3工藝重復(fù)性好,提高成膜速度,
實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的濺射膜層。
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脈沖磁控濺射電源 |
1恒流輸出,不隨氣壓變化。
2工藝重復(fù)性好,提高成膜速度。
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脈沖偏壓電源 |
1自動(dòng)穩(wěn)壓。
2電子電抗,自動(dòng)匹配負(fù)載。
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直流偏壓電源
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1自動(dòng)穩(wěn)壓。
2電子電抗,自動(dòng)匹配負(fù)載。
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弧 電 源 |
1動(dòng)態(tài)特性好,各種靶材都具有良
好的小電流維持特性。
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微機(jī)控制器
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1微機(jī)控制器采用80C196為核心。
2大屏幕液晶顯示工作、設(shè)定狀態(tài)。
3全中文顯示,界面友好。
4面板操作設(shè)定所有工作參數(shù)。
5可選擇的外部控制操作功能,并由干結(jié)點(diǎn)提供報(bào)警輸出。 |
離子源電源 |
1燈絲電源,自動(dòng)穩(wěn)流。
2陽極電源,穩(wěn)壓限流。
3長狹縫電源,采用電子電抗,
自動(dòng)匹配負(fù)載。
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